Foto: © bluebay2014 / Dollar Photo Club

Brněnští vědci chtějí patenty na nový elektronový mikroskop

Přístroj FEI Helios G4, vyráběný americkou společností Thermo Fisher Scientific v technologickém centru na Černovických terasách, přináší hned několik zásadník novinek, na které je zažádáno o patentovou ochranu.

Pro materiálový výzkum a polovodičový průmysl je průlomem schopnost přístroje vytvářet ultratenké lamely z přesně definovaných oblastí až do tloušťky 7 nm. Takové lamely jsou nezbytné pro analýzu na atomové úrovni v transmisním elektronovém mikroskopu. Mřížková konstanta křemíku je přitom 0,54 nm a při výrobě lamely konvenčními metodami se obvykle znehodnotí 20-40 nm materiálu. Vyrobit tedy vzorek tak tenký a nepoškozený vyžaduje maximální, dosud technicky nezvládnutelnou šetrnost.
Naprosto zásadní je, zvláště pro výrobce čipů a elektroniky, také rychlost, s jakou umí přístroj tenkou lamelu vytvořit. Jen v elektronickém průmyslu jich jeden výrobce potřebuje stovky tisíc za rok a nově je může vyrábět až s 25% úsporou času.
Mimo to umožňuje novinka také mnohem komfortnější manipulaci se vzorkem, automatizované ovládání, čímž klade menší nároky na obsluhu přístroje a minimalizuje lidskou chybu.
Řada elektronových mikroskopů FEI Helios™ patří mezi velmi oblíbenou. Ročně se v brněnské továrně vyrobí kolem 100 kusů přístrojů této řady. Jde o elektronové mikroskopy kombinující elektronový a iontový svazek, užívané především výrobci v polovodičovém průmyslu. V loňském roce slavila řada Helios™ jubileum, když deset od uvedení první generace na trh putoval ke svému majiteli slavnostně vyzdoben 1000. kus této řady.

tisková zpráva společnosti Thermo Fisher Scientific

Vysokorychlostní vytváření pravidelných povrchových struktur pomocí laseru

Vytváření struktur povrchu v nanoměřítku je významnou technologií v elektronice, fotonice i boji proti padělání. …

Používáme soubory cookies pro přizpůsobení obsahu webu a sledování návštěvnosti. Data o používání webu sdílíme s našimi partnery pro cílení reklamy a analýzu návštěvnosti. Více informací

The cookie settings on this website are set to "allow cookies" to give you the best browsing experience possible. If you continue to use this website without changing your cookie settings or you click "Accept" below then you are consenting to this.

Close