Sciencemag.cz
Doporučujeme
Přístroj FEI Helios G4, vyráběný americkou společností Thermo Fisher Scientific v technologickém centru na Černovických terasách, přináší hned několik zásadník novinek, na které je zažádáno o patentovou ochranu.
Pro materiálový výzkum a polovodičový průmysl je průlomem schopnost přístroje vytvářet ultratenké lamely z přesně definovaných oblastí až do tloušťky 7 nm. Takové lamely jsou nezbytné pro analýzu na atomové úrovni v transmisním elektronovém mikroskopu. Mřížková konstanta křemíku je přitom 0,54 nm a při výrobě lamely konvenčními metodami se obvykle znehodnotí 20-40 nm materiálu. Vyrobit tedy vzorek tak tenký a nepoškozený vyžaduje maximální, dosud technicky nezvládnutelnou šetrnost.
Naprosto zásadní je, zvláště pro výrobce čipů a elektroniky, také rychlost, s jakou umí přístroj tenkou lamelu vytvořit. Jen v elektronickém průmyslu jich jeden výrobce potřebuje stovky tisíc za rok a nově je může vyrábět až s 25% úsporou času.
Mimo to umožňuje novinka také mnohem komfortnější manipulaci se vzorkem, automatizované ovládání, čímž klade menší nároky na obsluhu přístroje a minimalizuje lidskou chybu.
Řada elektronových mikroskopů FEI Helios™ patří mezi velmi oblíbenou. Ročně se v brněnské továrně vyrobí kolem 100 kusů přístrojů této řady. Jde o elektronové mikroskopy kombinující elektronový a iontový svazek, užívané především výrobci v polovodičovém průmyslu. V loňském roce slavila řada Helios™ jubileum, když deset od uvedení první generace na trh putoval ke svému majiteli slavnostně vyzdoben 1000. kus této řady.
